特許
J-GLOBAL ID：200903012997939259
極端紫外光光源装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-290902
公開番号（公開出願番号）：特開2008-108945
出願日： 2006年10月26日
公開日（公表日）： 2008年05月08日
要約：
【課題】極端紫外光発生部から放出されるデブリが集光光学手段に到達しないように容器内のガスの流れを制御し得るようにすること。【解決手段】集光鏡2の光射出側から光入射側へのガス流が形成されるように、集光鏡2の光射出側に第2ガス供給ユニット16b、第2ガス排気ユニット9bを配置し、第2ガス供給ユニット16bから供給されるガスを集光鏡2の内側を通って第1ガス排気ユニット9aから排気させる。そのため、例えば、容器(チャンバ10)の内壁を内側に突き出させ、ガスがすべて集光鏡2の内側を通過するように構成する。また、ホイルトラップ3と集光鏡2を一体化し、集光鏡2の内側を流れたガスがホイルトラップ3の内側のみを通過するようにしてもよい。また、上記ガスとして、付着堆積したデブリを除去するクリーニング効果のあるクリーニングガス、あるいはその混合ガスを用いてもよい。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
容器と、
この容器内で、極端紫外光放射種を放電により加熱して励起し高温プラズマを発生させる、一対の主放電電極からなる放電部と、
上記放電部に上記極端紫外光放射種を供給する極端紫外光放射種供給手段と、
上記主放電電極に高電圧を印加する高電圧発生部と、
上記高温プラズマから放射される極端紫外光を集光する斜入射型の集光鏡と、
上記集光された光を取り出す、上記容器に形成された光取り出し部と、
上記容器内を、上記集光鏡の光入射側から排気する排気手段と、
極端紫外光放射種を含まないガスを、上記集光鏡の光出射側から上記容器に導入するガス供給手段とを備え、
容器に導入された上記ガスが、上記集光鏡を通過して排気手段により排気される極端紫外光光源装置において、
上記集光鏡の光出射側から導入されたガスが、上記集光鏡を通過する流路は、
上記集光鏡の内側にのみに形成されている
ことを特徴とする極端紫外光光源装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, G21K 1/00
, G21K 5/02
, G03F 7/20
, H05G 2/00
H01L21/30 531S
, G21K1/00 X
, G21K5/02 X
, G03F7/20 521
, H05G1/00 K
4C092AA04
, 4C092AA14
, 4C092AB19
, 4C092AC09
, 4C092BB20
, 4C092BD13
, 4C092BD18
, 5F046GA03
, 5F046GC03
