特許

J-GLOBAL ID：200903013108959797

表面波装置

発明者： 門田 道雄 ,  米田 年麿 ,  中尾 武志 ,  池浦 守
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 宮▼崎▲ 主税 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-258516
公開番号（公開出願番号）：特開平11-097973
出願日： 1997年09月24日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】【課題】 電気機械結合係数Kが大きな圧電基板を用いて漏洩弾性表面波を利用した広帯域の表面波装置を提供する。【解決手段】 41°回転Y板X伝搬LiNbO3 基板2a上に、該LiNbO3 基板2aよりも漏洩弾性表面波の伝搬速度が遅い材料よりなる誘電体薄膜としてのZnO薄膜2bを形成することにより圧電基板2を構成し、該圧電基板2にくし歯電極2a,3bからなるインターデジタルトランスデューサを設けてなる、漏洩弾性表面波を利用した表面波装置。

請求項（抜粋）：

41°±3回転Y板X伝搬LiNbO3 基板と、前記LiNbO3 基板上に形成されており、かつ前記LiNbO3 基板に比べて表面波伝搬速度が遅い材料よりなる誘電体薄膜とを有する圧電基板と、前記圧電基板に設けられたインターデジタルトランスデューサとを備え、漏洩弾性表面波を利用するように構成されていることを特徴とする、表面波装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-260213
  
• 表面波装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-280976   出願人：株式会社村田製作所
• 表面波装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-298000   出願人：株式会社村田製作所
• 特開昭63-260213