特許

J-GLOBAL ID：200903013157669788

圧電振動子及び圧電振動子の製造方法

発明者： 塩路 明弘
出願人/特許権者： シチズン時計株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-079401
公開番号（公開出願番号）：特開2006-262289
出願日： 2005年03月18日
公開日（公表日）： 2006年09月28日
要約：

【課題】 圧電振動子の平面部と側面部が当接する稜線角部において、電極配線が断線する問題がある。【解決手段】振動部と基部とを備え、前記振動部または基部の平面部と側面部に、それぞれ電気的に配線した平面配線と側面配線とを設け、前記平面部と前記側面部とが当接する稜線角部を有する圧電振動子であって、前記稜線角部の近傍に、前記平面配線と前記側面配線とに接続されると共に、前記稜線角部を渡るように配設された角部配線を備え、この角部配線の前記稜線角部を渡る渡り部を、前記平面配線の線幅よりも広くする。これにより、微細な電極形状パターンを有する電気的断線のない高精度かつ信頼性の高い圧電振動子を提供することができる。【選択図】 図6

請求項（抜粋）：

振動部と基部とを備え、前記振動部または基部の平面部と側面部に、それぞれ電気的に配線した平面配線と側面配線とを設け、前記平面部と前記側面部とが当接する稜線角部を有する圧電振動子において、 前記稜線角部の近傍に、前記平面配線と前記側面配線とに接続されると共に、前記稜線角部を渡るように配設された角部配線を備え、 この角部配線の前記稜線角部を渡る渡り部は、前記平面配線の線幅よりも広いことを特徴とする圧電振動子。

IPC (8件)：

H03H 9/19 ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/215 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22

FI (9件)：

H03H9/19 L ,  G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H03H3/02 B ,  H03H9/215 ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z

Fターム (13件)：

2F105BB13 ,  2F105BB15 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  5J108AA09 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108FF01 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108MM11 ,  5J108MM14

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 振動片、振動子、発振器及び電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-331487   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 圧電振動式慣性センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-023928   出願人：キンセキ株式会社