ガスレーザ発振器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：竹本松司 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-125726
公開番号（公開出願番号）：特開2002-319723
出願日： 2001年04月24日
公開日（公表日）： 2002年10月31日
要約：

【要約】【課題】ガスレーザ発振器の停止後に行なわれる暖気運転の自動化。【解決手段】レーザ発振器の停止時間を求め(S1)、その長短に応じて暖気運転におけるレーザ発振/同発振休止のシーケンスの繰り返し回数Nを決定する(S2)。暖気運転が不要(例えば休止時間60時間未満)でない限り、レーザ出力ビームのシャッタを閉めて内部放電をガス圧P1 、放電電圧P1 で開始する(S3、S4)。所定時間経過後8S5)内部放電WWO停止し、ガス圧をP2に低減し、所定時間待機する(S6)。繰り返し回数の指標値Nを1だけ下げて(S7)、暖気運転続行の要否を再度判定する(S3)。以下、暖気運転のシーケンスを繰り返す(S3→S4→S5→S6→S7→S3)。暖気運転が終了したら本運転のための放電をガス圧P0 (>P1 )で開始し(S8)、パワー補正(S9)を経て、立ち上げ処理を完了する。

請求項（抜粋）：

レーザ発振と同レーザ発振の休止とから成る暖気運転のシーケンスを繰り返し実行するガスレーザ発振器であって、該ガスレーザ発振器の運転停止時間を計測する手段と、前記運転停止時間に基づいて前記暖気運転のシーケンスの実行回数を決定する手段と、該決定に従って前記暖気運転のシーケンスを繰返し実行する手段とを備えたことを特徴とするガスレーザ発振器。

Fターム (5件)：

5F071HH08 , 5F071HH09 , 5F071JJ03 , 5F071JJ05 , 5F071JJ10

引用特許：

審査官引用 (4件)

レーザ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-182161 出願人：株式会社東芝
炭酸ガスレーザ発振器の起動方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-345345 出願人：株式会社ダイヘン
特開平2-130981

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