特許
J-GLOBAL ID:200903013163728311
走査トンネル顕微鏡発光集光装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
清水 守
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-289763
公開番号(公開出願番号):特開2001-108598
出願日: 1999年10月12日
公開日(公表日): 2001年04月20日
要約:
【要約】【課題】 STMのもつ高い空間分解能を犠牲にすることなく、真空中でより高い集光効率をもった走査トンネル顕微鏡発光集光装置を提供する。【解決手段】 走査トンネル顕微鏡発光集光装置において、走査トンネル顕微鏡と、この走査トンネル顕微鏡の操作での発光を集光するために、前記走査トンネル顕微鏡探針1の先端を中心として前記走査トンネル顕微鏡探針1の周りに放射状に配置される複数の光ファイバー2を具備する。
請求項(抜粋):
(a)走査トンネル顕微鏡と、(b)該走査トンネル顕微鏡の操作での発光を集光するために、前記走査トンネル顕微鏡探針の先端を中心として前記走査トンネル顕微鏡探針の周りに放射状に配置される複数の光ファイバーを具備することを特徴とする走査トンネル顕微鏡発光集光装置。
引用特許:
審査官引用 (3件)
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微小部光物性測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-165558
出願人:株式会社日立製作所
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特開平2-199757
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走査型プローブ顕微鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-073290
出願人:株式会社島津製作所
引用文献:
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