特許

J-GLOBAL ID：200903013168031580

貼り合わせ基板の基板ブレイク装置及びその基板ブレイク方法

発明者： 山崎 洋 ,  大槻 博
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松村 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-109258
公開番号（公開出願番号）：特開2006-289625
出願日： 2005年04月05日
公開日（公表日）： 2006年10月26日
要約：

【課題】貼り合わせ基板を、同一場所にて、上面基板及び下面基板を個別に、或いは、殆ど同時にブレイクできる装置及び方法を得る。【解決手段】開口部が形成された基板支持板211と、その上面に開口部を覆って搭載された弾性板212と、この弾性板212の上方に在って、基板支持板211の開口部の上方で上下動可能な上ブレイクバー31Aと上ブレイクバー31Aの両側に配設された一対の上基板固定バー32Aとを備えた上ブレイクユニット30Aと、この上ブレイクユニット30Aに相対して基板支持板211の開口部の下方の弾性板212に相対して上下動可能な下ブレイクバー31Bとこの両側に配設された一対の下基板固定バー32Bとを備えた下ブレイクユニット30Bと、これら両前記ブレイクバー31A、31Bと両基板固定バー32A、32Bとの移動を個別に制御する移動制御部50とを備える。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

スクライブラインがブレイクしたい位置の表面に形成されている貼り合わせ脆性材料基板を前記スクライブラインに沿ってブレイクする貼り合わせ基板の基板ブレイク装置であって、 開口部が形成されている基板支持板と、 該基板支持板の上面に前記開口部を覆って搭載され、前記脆性材料基板を固定する弾性板と、 該弾性板の上方に在って、そして前記基板支持板の前記開口部の上方に在って上下動できるように配設され、中央に前記スクライブラインに沿ってブレイクする上ブレイクバーと該上ブレイクバーの両側に形成された上基板固定バーとを備えた上ブレイクユニットと、 前記上ブレイクバーと前記両上基板固定バーとの移動を個別に制御する移動制御部と、 前記基板支持板の前記開口部の下方の前記弾性板に相対して上下動できるように配設され、中央に前記スクライブラインに沿ってブレイクする下ブレイクバーと該下ブレイクバーの両側に形成された下基板固定バーとを備えた下ブレイクユニットと、 前記下ブレイクバーと前記両下基板固定バーとの移動を個別に制御する移動制御部と を備えて構成されていることを特徴とする貼り合わせ基板の基板ブレイク装置。

IPC (3件)：

B28D 5/00 ,  C03B 33/033 ,  C03B 33/07

FI (3件)：

B28D5/00 Z ,  C03B33/033 ,  C03B33/07

Fターム (11件)：

3C069AA02 ,  3C069BB01 ,  3C069BB04 ,  3C069CA05 ,  3C069CA06 ,  3C069CA11 ,  3C069CB01 ,  3C069EA01 ,  4G015FA04 ,  4G015FB01 ,  4G015FC02

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ガラス分断方法とその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-114799   出願人：シャープ株式会社

審査官引用 (4件)

• ガラス基板分断方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-069729   出願人：鹿児島日本電気株式会社
• 特開平2-016000
  
• 特開平1-292313
  
• 特開平4-246618