紫外線照射装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-289966
公開番号（公開出願番号）：特開平10-135168
出願日： 1996年10月31日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】紫外線照射手段の寿命が長く、かつオゾンの発生量を少なくできる紫外線照射装置を提供すること。【解決手段】基板3に紫外線を照射する紫外線照射装置1において、搬入口4および搬出口5、照射窓7が形成された筐体2と、上記筐体2内部に設けられ、上記搬入口4から搬出口5へ基板3を搬送する基板搬送手段10と、上記筐体2の照射窓7に対向して設けられ、紫外線を上記基板3表面に照射する紫外線照射手段8と、上記搬入口4付近に設けられ、上記基板3の上記筐体2内部への搬入を検出する検出手段21と、上記検出手段21が上記基板3の搬入を検出すると上記紫外線照射手段8を所定のタイミングで点灯制御し、所定時間点灯して光洗浄を行った後上記紫外線照射手段8を所定のタイミングで消灯制御する制御手段23と、を具備したことを特徴としている。

請求項（抜粋）：

基板の表面に紫外線を照射する紫外線照射装置において、搬入口および搬出口が形成されているとともに上記紫外線を基板の表面に照射させる照射窓が形成された筐体と、上記筐体内部に設けられ、上記搬入口から搬出口へ基板を搬送する基板搬送手段と、上記筐体の照射窓に対向して設けられ、紫外線を上記基板表面に照射する紫外線照射手段と、上記搬入口付近に設けられ、上記基板の上記筐体内部への搬入を検出する検出手段と、上記検出手段が上記基板の搬入を検出すると上記紫外線照射手段を所定のタイミングで点灯制御し、所定時間点灯して光洗浄を行った後上記紫外線照射手段を所定のタイミングで消灯制御する制御手段と、を具備したことを特徴とする紫外線照射装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 341 , A61L 2/10 , B08B 7/00

FI (3件)：

H01L 21/304 341 D , A61L 2/10 , B08B 7/00

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開昭63-033824
紫外線照射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-196517 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
特開平2-001121

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