特許

J-GLOBAL ID：200903013211733381

固体撮像装置

発明者： 李 静波
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (3件)： 小林 和憲 ,  飯嶋 茂 ,  小林 英了
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-094028
公開番号（公開出願番号）：特開2008-251985
出願日： 2007年03月30日
公開日（公表日）： 2008年10月16日
要約：

【課題】遮光膜によって入射光を妨げることなく、受光素子へと光を効率良く集光する。【解決手段】CCD10は、フォトダイオード11及び電荷転送部14が形成された半導体基板15と、絶縁膜16と、電荷転送部14とともに垂直転送路13を構成する転送電極17と、転送電極17及び半導体基板15の上方に位置する遮光膜18と、カラーフイルタ24と、マイクロレンズ25とを備える。遮光膜18は、フォトダイオード11に合わせた開口部20が形成されている。開口部20は、マイクロレンズ25側からフォトダイオード11側に向かって徐々に面積が減少するテーパー形状に形成され、マイクロレンズ25から入射した光を妨げることなくフォトダイオード11へと集光する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

複数の受光部が形成された半導体基板と、前記受光部の上方に位置する集光レンズと、前記半導体基板の少なくとも一部を覆って遮光し、且つ前記受光部の位置に合わせて形成された開口部の形状が、前記集光レンズの外形寸法をD、前記開口部の集光レンズに近接する位置の開口間隔をW1、前記開口部の受光部に近接する位置の開口間隔をW2とすると、0.5≦(W1-W2)/(D-W2)≦0.9の関係となる遮光膜とを備えたことを特徴とする固体撮像装置。

IPC (4件)：

H01L 27/14 ,  H04N 5/335 ,  G02B 3/00 ,  G02B 5/00

FI (4件)：

H01L27/14 D ,  H04N5/335 U ,  G02B3/00 A ,  G02B5/00 B

Fターム (22件)：

2H042AA09 ,  2H042AA15 ,  2H042AA21 ,  4M118AA01 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA13 ,  4M118BA14 ,  4M118CA03 ,  4M118CA32 ,  4M118GA09 ,  4M118GB03 ,  4M118GB08 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  4M118GD11 ,  4M118GD14 ,  5C024CX41 ,  5C024EX43 ,  5C024GX03 ,  5C024GX07

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 固体撮像装置およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-239713   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開平4-155964
  
• 光電変換装置およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-307004   出願人：キヤノン株式会社