特許
J-GLOBAL ID：200903013262805107
形状測定方法、プログラム、および形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-181720
公開番号（公開出願番号）：特開2009-019942
出願日： 2007年07月11日
公開日（公表日）： 2009年01月29日
要約：
【課題】ゴースト像の影響を低減して測定精度を向上させた形状測定方法を提供する。【解決手段】本発明に係る形状測定方法は、光切断法による被検物の形状測定方法であって、光切断を行うためのシート光を被検物に投影する第1のステップ(S101)と、第1のステップでシート光が投影された被検物の表面を撮像する第2のステップ(S102)と、第2のステップで撮像した画像に対しシート光の延在方向と交差する方向に走査して、輝度のピーク位置を検出する第3のステップ(S103)と、ピーク位置が複数検出されたとき、複数のピーク位置から画像におけるシート光の多重反射による像を特定する第4のステップ(S104)とを有している。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
光切断法による被検物の形状測定方法であって、
前記光切断を行うためのシート光を前記被検物に投影する第1のステップと、
前記第1のステップで前記シート光が投影された前記被検物の表面を撮像する第2のステップと、
前記第2のステップで撮像した画像に対し前記シート光の延在方向と交差する方向に走査して輝度のピーク位置を検出する第3のステップと、
前記第3のステップにおいて前記ピーク位置が複数検出されたとき、前記複数のピーク位置から前記画像における前記シート光の多重反射による像を特定する第4のステップとを有していることを特徴とする形状測定方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (15件)：
2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065DD12
, 2F065EE00
, 2F065FF01
, 2F065FF02
, 2F065FF09
, 2F065HH05
, 2F065LL08
, 2F065LL28
, 2F065MM03
, 2F065NN02
, 2F065PP12
, 2F065QQ00
, 2F065QQ29
出願人引用 (1件)
-
表面形状測定装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-150037
出願人：ソニー株式会社
審査官引用 (5件)
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