特許
J-GLOBAL ID：200903013386797293
位置検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-007820
公開番号（公開出願番号）：特開平10-206104
出願日： 1997年01月20日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】 高分解能でX軸方向とY軸方向を個別に弁別でき、充分な応答速度を有する位置検出装置の提供を目的とする。【解決手段】 この位置検出装置は、プラテンと検出コイルとを有して、プラテンとの間に所定の空隙を有する移動側の移動子と、移動子のプラテン上の2次元平面上の位置を検出する検出回路とを有し、プラテン上の2次元平面の移動子の移動による移動体の位置を検出する位置検出装置において、検出コイルL1,L2に高周波電圧OSC1を供給し、検出回路は検出コイルL1,L2のインダクタンス変化を検波することにより電圧VO の変化として取り出すようにした。
請求項（抜粋）：
X軸および上記X軸に直交するY軸による2次元平面上の任意の方向に移動体を移動可能にするものであって、固定側のヨークであり格子状の溝を有するプラテンと、永久磁石とコイルを巻いたヨークとを設けた検出コイルとを有して上記プラテンとの間に所定の空隙を有する移動側の移動子と、上記移動子の上記プラテン上の2次元平面上の位置を検出する検出回路とを有し、上記プラテン上の2次元平面の上記移動子の移動による移動体の位置を検出する位置検出装置において、上記検出コイルに高周波電圧を供給し、上記検出回路は上記検出コイルのインダクタンス変化を検波することにより電圧の変化として取り出すようにしたことを特徴とする位置検出装置。
IPC (4件)：
G01B 7/00
, G01D 5/12
, G01D 5/245 101
, H02P 5/00 101
G01B 7/00 P
, G01D 5/12 D
, G01D 5/245 101 Q
, H02P 5/00 101 C
