特許
J-GLOBAL ID：200903013394910651
オメガ型エネルギーフィルター
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-302829
公開番号（公開出願番号）：特開平9-213263
出願日： 1996年11月14日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：
【要約】【課題】 磁界に垂直方向Xに3回、磁界方向Yに2回の結像を行うタイプのオメガ型エネルギーフィルターとして、形状の適切な選択によってAタイプに比べて小さい収差と大きいエネルギー分散をもたらす。【解決手段】 入射絞りを通過した荷電粒子ビームを4つのセクターマグネットM1,M2,M3,M4により順次偏向しつつ出射スリットへ導くようにしたオメガ型エネルギーフィルターであって、入射絞りと出射スリット、セクターマグネットM1とM4、セクターマグネットM2とM3がフィルターの中心平面に対してそれぞれ対称に配置され、磁界に垂直な方向Xに3回、磁界方向Yに2回の結像を行うタイプのオメガ型エネルギーフィルターにおいて、入射絞りとセクターマグネットM1の入射端面との間の距離と、セクターマグネットM4の出射端面と出射スリットとの間の距離とをそれぞれL5 としたとき、50mm≧L5 /√(U* /239)≧40mmとした。
請求項（抜粋）：
入射絞りから入射した相対論補正加速電圧U*kVの荷電粒子ビームを4つのセクターマグネットM1,M2,M3,M4により順次偏向しつつ出射スリットへ導くようにしたオメガ型エネルギーフィルターであって、入射絞りと出射スリット、セクターマグネットM1とM4、セクターマグネットM2とM3がフィルターの中心平面に対してそれぞれ対称に配置され、磁界に垂直な方向Xに3回、磁界方向Yに2回の結像を行うタイプのオメガ型エネルギーフィルターにおいて、入射絞りとセクターマグネットM1の入射端面との間の距離と、セクターマグネットM4の出射端面と出射スリットとの間の距離とをそれぞれL5 としたとき、40mm≦L5 /√(U* /239)≦50mmとしたことを特徴とするオメガ型エネルギーフィルター。
IPC (3件)：
H01J 49/38
, H01J 37/244
, H01J 49/44
H01J 49/38
, H01J 37/244
, H01J 49/44
