ガスセンサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：塩入明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-254753
公開番号（公開出願番号）：特開平8-094563
出願日： 1994年09月22日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：

【要約】【構成】絶縁基板2の角部に設けた導電膜を介して、基板裏面の電極を基板の他面に引出し、電極パッド8,10を基板の一面に集約する。電極パッドにPt-W,Pt-Pd,Pt-ZrO2,Au-Pd-Mo等の貴金属高抵抗合金線12を溶接し、導電性ペースト14で被覆してパッドへのボンディングを補強し、外部端子16に溶接する。【効果】パッド8,10を基板2の一面に集約したのでボンディングが容易で、合金線12が高抵抗なため熱伝導率が小さくかつその強度が高い。またペースト14で固定したので、パッドへの合金線のボンディング強度が高い。

請求項（抜粋）：

絶縁基板の一方の主面にガス感応体膜を、反対面にヒータ膜を設けたガスセンサにおいて、前記ガス感応体膜もしくはヒータ膜の一方の膜について、該膜に接続した電極を基板の角部に設けた導電膜を介して基板の反対面へ引出すことにより、基板の1つの主面に電極パッドを集約し、各電極パッドと外部端子とに貴金属高抵抗合金線を溶接して、両者を接続したことを特徴とする、ガスセンサ。

IPC (2件)：

G01N 27/12 , G01N 27/41

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-299245
特開平4-086550
特開平1-100446

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