特許
J-GLOBAL ID：200903013433668766

薄膜圧電振動子

発明者：
ロベルト アイグナー

ロベルト アイグナー について


出願人/特許権者：
インフィネオン テクノロジース アクチエンゲゼルシャフト

インフィネオン テクノロジース アクチエンゲゼルシャフト について


代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-548952
公開番号（公開出願番号）：特表2002-515667
出願日： 1999年05月07日
公開日（公表日）： 2002年05月28日
要約：
【要約】振動子には、カバー電極の層またはこれに被着された付加層に、有利にはリソグラフィによって製作された孔または類似の構造体が設けられており、これらの構造体の相互の平均間隔は、素子が動作する際の所定の波長よりも短い。これらの構造体は、有利には十分に均一に分散されており、これによって面積当たりの層の質量が一様に変化し、ひいては振動周波数の所期の調整が行われる。その一方でこれらの構造体は不規則に分散されており、これによって回折作用が回避される。
請求項（抜粋）：
下部電極層(5)と上部電極層(7)との間に圧電層(6)を有する薄膜圧電振動子において、 前記の上部電極層(7)、または該上部電極層に被着された付加層(8)に構造体が設けられており、 該構造体は、当該構造体によって生じる、関連する層(7,8)の平均密度の変化によって、所定の振動周波数が調整されるように構成されていることを特徴とする 薄膜圧電振動子。
IPC (2件)：
H03H 9/17 ,  H03H 9/02
FI (2件)：
H03H 9/17 F ,  H03H 9/02 M
Fターム (5件)：
5J108BB04 ,  5J108BB07 ,  5J108BB08 ,  5J108EE13 ,  5J108HH04
引用特許：
審査官引用 (4件)
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