特許

J-GLOBAL ID：200903013464407430

研磨装置

発明者： 秦 晶 一 ,  綱 田 雅 文 ,  長 倉 靖 彦
出願人/特許権者： 東芝機械株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-065735
公開番号（公開出願番号）：特開平8-257899
出願日： 1995年03月24日
公開日（公表日）： 1996年10月08日
要約：

【要約】【目的】 パーティクルの発生を抑えながら短時間で研磨布の交換を自動化できるようにした研磨装置を提供する。【構成】 回転自在に支承され回転力を与えるアクチュエータと連結された下部定盤18と、前記下部定盤18の上に着脱自在に設置されその表面に研磨布17が貼着された上部定盤19とからなる定盤と、新しい研磨布があらかじめ貼着されている上部定盤を待機位置に置く第1の定盤置台52と、下部定盤から取り外された上部定盤が載置される第2の定盤置台54と、下部定盤を把持可能なチャック44手段を有し、上部定盤を前記第2定盤置台54に移送するとともに、第1定盤置台52から上部定盤を取り出し下部定盤18に装着する定盤交換装置43と、定盤交換装置43のチャック手段44が係合可能な回転角位置に定盤を停止せしめる位置決め停止手段とを備える。

請求項（抜粋）：

研磨布が貼着される定盤と、保持したウェーハを前記研磨布に押圧する研磨ヘッドを有し、前記研磨布に研磨液を供給して前記定盤を回転しながらウェーハを鏡面研磨する研磨装置において、回転自在に支承され回転力を与えるアクチュエータと連結された下部定盤と、前記下部定盤の上に着脱自在に設置されその表面に研磨布が貼着された上部定盤とからなる定盤と、新しい研磨布があらかじめ貼着されている上部定盤を待機位置に置く第1の定盤置台と、前記下部定盤から取り外された上部定盤が載置される第2の定盤置台と、前記下部定盤を把持可能なチャック手段を有し、前記上部定盤を前記第2定盤置台に移送するとともに、前記第1定盤置台から上部定盤を取り出し下部定盤に装着する定盤交換装置と、前記定盤交換装置のチャック手段が係合可能な回転角位置に前記定盤を停止せしめる位置決め停止手段とを備えることを特徴とする研磨装置。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 321

FI (2件)：

B24B 37/04 A ,  H01L 21/304 321 E

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 研磨盤自動交換装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-084447   出願人：日本電信電話株式会社
• 砥石交換装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-289656   出願人：株式会社ノリタケカンパニーリミテド