フェムト秒レーザー発生装置、およびこれを用いた基板の切断方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：曾我道照 , 曾我道治 , 古川秀利 , 鈴木憲七 , 梶並順
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-185496
公開番号（公開出願番号）：特開2006-130556
出願日： 2005年06月24日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：

【課題】フェムト秒レーザーを用いた基板の切断時に焦点深度の異なる集光レンズを用いることで、切断面のテーパ角度を減らすようにした、フェムト秒レーザー発生装置、及びこれを用いた基板の切断方法を提供する。【解決手段】フェムト秒レーザー発振器200で発振したフェムト秒レーザーを第1、第2フェムト秒レーザーに分割する第1ビームスプリッター210と、前記第1ビームスプリッターから分割された第1フェムト秒レーザーを、第1焦点深度を有するように集束させる第1集光レンズ230と、前記第1ビームスプリッターから分割された第2フェムト秒レーザーを受けて前記第1焦点深度と異なる第2焦点深度を有するように集束させる第2集光レンズ250と、前記第1、第2集光レンズで集束された第1、第2フェムト秒レーザーを受け、切断する基板100の互いに異なる位置に照射する第2ビームスプリッター260とを含んでなることを特徴とする。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

フェムト秒レーザーを発振するフェムト秒レーザー発振器と、前記フェムト秒レーザー発振器で発振したフェムト秒レーザーを第1、第2フェムト秒レーザーに分割する第1ビームスプリッターと、前記第1ビームスプリッターから分割された第1フェムト秒レーザーを、第1焦点深度を有するように集束させる第1集光レンズと、前記第1ビームスプリッターから分割された第2フェムト秒レーザーを、前記第1焦点深度と異なる第2焦点深度を有するように集束させる第2集光レンズと、前記第1、第2集光レンズで集束された前記第1、第2フェムト秒レーザーを受け、切断する基板の互いに異なる位置に照射する第2ビームスプリッターとを備えたフェムト秒レーザー発生装置。

IPC (7件)：

B23K 26/38 , B23K 26/03 , B23K 26/06 , B23K 26/067 , B23K 26/40 , B28D 5/04 , G02F 1/133

FI (7件)：

B23K26/38 320 , B23K26/03 , B23K26/06 Z , B23K26/067 , B23K26/40 , B28D5/04 Z , G02F1/1333 500

Fターム (24件)：

2H090JB02 , 2H090JC01 , 2H090LA01 , 3C069AA01 , 3C069BA08 , 3C069BB01 , 3C069CA06 , 4E068AE00 , 4E068CA01 , 4E068CA02 , 4E068CA03 , 4E068CA11 , 4E068CA14 , 4E068CA17 , 4E068CB08 , 4E068CC02 , 4E068CD04 , 4E068CD05 , 4E068CD08 , 4E068CD11 , 4E068CE02 , 4E068CE04 , 4E068DA09 , 4E068DB11

引用特許：

審査官引用 (5件)

ホログラムの製造方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-312715 出願人：科学技術振興事業団
特開平1-186293
微細加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-114429 出願人：財団法人神奈川科学技術アカデミー

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