特許

J-GLOBAL ID：200903013516779470

感放射線組成物、積層体及びその製造方法並びに電子部品

発明者： 大森 宏紀 ,  寺田 和代 ,  木内 孝司
出願人/特許権者： 日本ゼオン株式会社
代理人 (3件)： 山口 巖 ,  駒田 喜英 ,  松崎 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-104232
公開番号（公開出願番号）：特開2005-292278
出願日： 2004年03月31日
公開日（公表日）： 2005年10月20日
要約：

【課題】電気特性及び放射線に対する感度に優れ、放射線によるパターン膜の形成が可能で、且つ大気中での加熱工程後も高い透明性を有する樹脂膜を与える、集積回路素子、液晶表示素子、固体撮像素子等の電子部品に好適な感放射線組成物、この感放射線組成物を用いてなる樹脂膜を基板上に形成した積層体、及びこの積層体の製造方法を提供する。【解決手段】環状オレフィン系重合体、架橋剤、感放射線化合物並びにフェノール系老化防止剤及び非フェノール系老化防止剤を含有してなる感放射線組成物。基板と、この架橋性樹脂組成物を用いて形成された樹脂膜とからなる積層体。

請求項（抜粋）：

環状オレフィン系重合体、架橋剤、感放射線化合物並びにフェノール系老化防止剤及び非フェノール系老化防止剤を含有してなる感放射線組成物。

IPC (5件)：

G03F7/004 ,  B32B27/00 ,  G03F7/033 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

FI (6件)：

G03F7/004 502 ,  G03F7/004 501 ,  B32B27/00 A ,  G03F7/033 ,  G03F7/40 511 ,  H01L21/30 502R

Fターム (32件)：

2H025AA00 ,  2H025AA06 ,  2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BE01 ,  2H025CB08 ,  2H025CC01 ,  2H025CC17 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096BA06 ,  2H096EA04 ,  2H096HA01 ,  4F100AB11B ,  4F100AG00B ,  4F100AK01B ,  4F100AK02A ,  4F100AT00B ,  4F100BA02 ,  4F100CA02A ,  4F100CA06A ,  4F100CA30A ,  4F100EH012 ,  4F100EH462 ,  4F100EJ012 ,  4F100EJ052 ,  4F100EJ522 ,  4F100GB48

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-115846   出願人：ジェイエスアール株式会社
• 感放射線性樹脂組成物、パターン状樹脂膜を有する基板の製造方法、及び該樹脂組成物の利用
  公報種別：再公表公報   出願番号：JP2003006599   出願人：日本ゼオン株式会社