特許
J-GLOBAL ID：200903048210104419
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-115846
公開番号（公開出願番号）：特開平10-307388
出願日： 1997年05月06日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：
【要約】【課題】 絶縁性、平坦性、耐熱性、透明性、耐薬品性などの諸性能に優れるとともに、低誘電性に優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 [A]アルカリ可溶性環状ポリオレフィン系樹脂、[B]1,2-キノンジアジド化合物および[C]樹脂[A]と反応して樹脂[A]間に架橋を形成しうる官能基を有する架橋剤を含有する感放射線性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
[A]アルカリ可溶性環状ポリオレフィン系樹脂、[B]1,2-キノンジアジド化合物 および[C]樹脂[A]と反応して樹脂[A]間に架橋を形成しうる官能基を有する架橋剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (7件)：
G03F 7/022
, C08F 2/46
, G03F 7/004 503
, G03F 7/033
, G03F 7/039 501
, H01L 21/027
, H01L 21/768
G03F 7/022
, C08F 2/46
, G03F 7/004 503 Z
, G03F 7/033
, G03F 7/039 501
, H01L 21/30 502 R
, H01L 21/90 S
