特許

J-GLOBAL ID：200903013519178427

液晶表示装置における配線および電極用銅合金薄膜並びにその薄膜を形成するためのスパッタリングターゲット

発明者： 森 暁
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (3件)： 富田 和夫 ,  鴨井 久太郎 ,  影山 秀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-159304
公開番号（公開出願番号）：特開2007-328136
出願日： 2006年06月08日
公開日（公表日）： 2007年12月20日
要約：

【課題】液晶表示装置の配線および電極を形成するための銅合金薄膜並びにその薄膜を形成するためのスパッタリングターゲットを提供する。【解決手段】B:5〜2000wtppmを含み、残部がCuおよび不可避不純物からなる組成を有する液晶表示装置の配線および電極用銅合金薄膜およびその薄膜を形成するためのスパッタリングターゲット。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

B:5〜2000wtppmを含み、残部がCuおよび不可避不純物からなる組成を有することを特徴とする液晶表示装置における配線および電極用銅合金薄膜。

IPC (6件)：

G02F 1/134 ,  C23C 14/34 ,  H01L 21/285 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/320 ,  H01L 23/52

FI (5件)：

G02F1/1343 ,  C23C14/34 A ,  H01L21/285 S ,  H01L21/28 301R ,  H01L21/88 M

Fターム (29件)：

2H092GA11 ,  2H092HA06 ,  2H092HA12 ,  2H092HA19 ,  2H092KB04 ,  2H092MA05 ,  2H092NA28 ,  4K029AA09 ,  4K029BA08 ,  4K029BD02 ,  4K029CA05 ,  4K029DC03 ,  4K029DC04 ,  4K029DC08 ,  4K029DC34 ,  4M104BB04 ,  4M104BB38 ,  4M104BB39 ,  4M104DD40 ,  4M104GG20 ,  4M104HH03 ,  4M104HH16 ,  5F033HH12 ,  5F033LL04 ,  5F033PP15 ,  5F033VV15 ,  5F033WW04 ,  5F033XX10 ,  5F033XX16

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 半導体用電極及びその製造方法並びに半導体用電極膜形成用スパッタリングターゲット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-184747   出願人：株式会社神戸製鋼所
• 配線及びそれを用いた表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-100780   出願人：カシオ計算機株式会社