特許
J-GLOBAL ID：200903021754520330

配線及びそれを用いた表示装置

発明者：
神谷 建史

神谷 建史 について

, 
塩田 純司

塩田 純司 について


出願人/特許権者：
カシオ計算機株式会社

カシオ計算機株式会社 について


代理人 (1件)： 杉村 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-100780
公開番号（公開出願番号）：特開平10-284493
出願日： 1997年04月04日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：
【要約】【課題】 薄膜トランジスタを備えたアクティブマトリックス型の液晶表示装置において、ゲート電極を含む走査ラインからなる配線の低抵抗化を図るとともに、配線にヒロック及びピンホールが発生しにくいようにする。【解決手段】 ガラス基板21上にはAl-Nd-Ti合金薄膜22からなる配線が形成されている。この場合、Nd含有量を0.75at%とし、Ti含有量を0.5at%とすると、抵抗率が8μΩcm程度となり、また配線形成後に温度240〜270°Cで熱処理を行っても、ヒロック及びピンホールの発生は抑制されることになる。
請求項（抜粋）：
希土類元素のうちの1種または2種以上とTi、Ta、Mo、Cr、Au、Ag、Cuのうちの1種または2種以上とを含有するAl合金薄膜からなることを特徴とする配線。
IPC (7件)：
H01L 21/3205 ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 338 ,  H01B 1/02 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 29/786 ,  H05K 1/09
FI (8件)：
H01L 21/88 N ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 338 ,  H01B 1/02 B ,  H01L 21/28 301 L ,  H05K 1/09 A ,  H01L 29/78 612 C ,  H01L 29/78 617 M
引用特許：
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (2件)

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