特許
J-GLOBAL ID：200903013530717925
表面形状測定装置
出願人/特許権者：
住友大阪セメント株式会社
住友大阪セメント株式会社 について
代理人 (1件)： 宮川 貞二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-129038
公開番号（公開出願番号）：特開2001-311611
出願日： 2000年04月28日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
要約：
【要約】【課題】 被測定物の保持器と測定ヘッドのうち移動する方のピッチングによる傾きから生じる誤差を補正できる表面形状測定装置を提供する。【解決手段】 被測定物13を保持する保持器11と;被測定物の表面を走査する測定ヘッド12と;保持器11と測定ヘッド12のうちの移動する方に設けられている平面23に対して、光束を照射する照射手段21と;平面23で反射された照射手段21からの光束が入射する位置に配置されたスポット光位置検出手段24と;スポット光位置検出手段24からのスポット光位置に関するデータと保持器11と測定ヘッド12のうちの移動する方12の位置に関するデータとに基づいて、前記表面の形状の測定データを補正する補正手段26とを備える表面形状測定装置。
請求項（抜粋）：
被測定物と測定ヘッドとのうち一方を移動することによって前記被測定物の表面を前記測定ヘッドにより走査し、該表面の形状を測定する表面形状測定装置において;前記被測定物を保持する保持器と;前記表面を走査する測定ヘッドと;前記保持器と前記測定ヘッドのうちの移動する方に設けられた平面であって、移動方向に向けて設けられている平面に対して、光束を照射する照射手段と;前記平面で反射された前記照射手段からの光束が入射する位置に配置されたスポット光位置検出手段と;前記スポット光位置検出手段からのスポット光位置に関するデータと前記保持器と前記測定ヘッドのうちの移動する方の位置に関するデータとに基づいて、前記表面の形状の測定データを補正する補正手段とを備える;表面形状測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (20件)：
2F065AA04
, 2F065AA06
, 2F065AA37
, 2F065AA54
, 2F065DD03
, 2F065FF51
, 2F065FF61
, 2F065FF65
, 2F065GG04
, 2F065GG06
, 2F065HH04
, 2F065HH13
, 2F065JJ16
, 2F065LL36
, 2F065LL46
, 2F065MM01
, 2F065NN08
, 2F065PP12
, 2F065QQ13
, 2F065QQ14
引用特許：
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