レジスト剥離液

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中前富士男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-082493
公開番号（公開出願番号）：特開平11-258824
出願日： 1998年03月13日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：

【要約】【課題】有害な塩素系有機溶剤を含まず、水を溶媒とすることで不燃性であり、金属素材を侵さず、かつ、ジクロロメタンと同等以上の剥離性をもつことを特徴とするレジスト剥離液を提供する。【解決手段】水を溶媒とするレジスト剥離液であって、ベンゼン環とベンゼン環内の隣接する炭素原子を共有するアゾールとから構成される物質を剥離液中に含有する。

請求項（抜粋）：