レジスト剥離液

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：倉内基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-058303
公開番号（公開出願番号）：特開平7-244386
出願日： 1994年03月04日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：

【要約】【目的】アルカリ金属水酸化物系のレジスト剥離液において、剥離効果を下げないで錫及び錫合金の腐食抑制を図ることである。【構成】アルカリ金属水酸化物の水溶液に、酸素を異原子とする複素環式化合物及びスルファミン酸又はその塩から成る錫及び錫合金の腐食抑制剤を含有することを特徴とする。窒素を異原子とする複素環式化合物を添加すると更に効果的である。

請求項（抜粋）：

アルカリ金属水酸化物の水溶液に、酸素を異原子とする複素環式化合物及びスルファミン酸又はその塩から成る錫及び錫合金の腐食抑制剤を含有することを特徴とするレジスト剥離液。

IPC (5件)：

G03F 7/42 , C23F 11/12 , C23F 11/14 , C23F 11/16 , H01L 21/027

引用特許：

出願人引用 (11件)

特開昭64-024254
特表平1-502059
特表平5-504204

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