ポジ型レジスト用剥離液

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：服部平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-083582
公開番号（公開出願番号）：特開平7-271057
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【構成】N,Nージエチルヒドロキシルアミンを含有してなるポジ型レジスト用剥離液、および該N,Nージエチルヒドロキシルアミンと、アミノアルコール化合物、並びに水溶性有機溶剤、水又は配合剤の少なくとも1種との混合物、或はN,Nージエチルヒドロキシルアミンとアミノアルコール化合物及び水溶性有機溶剤、水又は配合剤の少なくとも1種と、カルボキシル基含有有機化合物との混合物からなるポジ型レジスト用剥離液【効果】剥離性に優れる。特に、過酷な物理的、化学的環境に曝され、変質したレジストを容易に剥離できる。

請求項（抜粋）：