複合構造物形成装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-054002
公開番号（公開出願番号）：特開2005-238155
出願日： 2004年02月27日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：

【課題】上記記載のエアロゾルデポジション法で用いるマスクは、加工精度が良いこと、強度が優れることなどの理由により一般的に金属材料が用いられる。しかし、このマスクは構造物作製時に表面に微粒子が衝突し、脆性材料からなる構造物が形成されることから、圧縮残留応力により構造物及びマスクが変形し、基材表面に所望のパターンを形成させる精度が悪くなるといった不具合があった。【解決手段】本発明ではエアロゾルデポジション法で用いるマスクを、金属材料または無機材料からなる基体の噴射ノズル側の表面に、DHv2が40以上80以下の樹脂、グリース、ワックス、ワセリン、ロウ、エラストマー、動物性油脂の群から選ばれる少なくとも1種の材料で被覆した素材で構成することでマスクの変形を防止した。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

脆性材料微粒子を基材に向けて噴射させて前記基材表面に前記微粒子の構造物を特定のパターンで形成させる複合構造物形成装置であって、エアロゾル発生手段と噴射ノズルと基材支持手段と、少なくとも構造物形成時には前記噴射ノズルと前記基材支持手段との間に介在させて用いるパターン形成手段とを備え、前記パターン形成手段は、金属材料または無機材料からなる基体の前記噴射ノズル側の表面に、DHv2が40以上80以下の樹脂、グリース、ワックス、ワセリン、ロウ、エラストマー、動物性油脂の群から選ばれる少なくとも1種の材料で被覆した素材で構成したことを特徴とする複合構造物形成装置

IPC (3件)：

B05B15/04 , B05D1/12 , B05D1/32

FI (3件)：

B05B15/04 102 , B05D1/12 , B05D1/32 Z

Fターム (16件)：

4D073AA01 , 4D073BB06 , 4D073DB03 , 4D073DB06 , 4D073DB24 , 4D073DC02 , 4D075AA01 , 4D075AD11 , 4D075AD14 , 4D075DB04 , 4D075DB06 , 4D075DB07 , 4D075DB13 , 4D075DB47 , 4D075EA13 , 4D075EC33

引用特許：

出願人引用 (1件)

微細造形方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-027162 出願人：工業技術院長

審査官引用 (1件)

メタルマスク及び該メタルマスクの表面膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-317599 出願人：株式会社リコー

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