特許
J-GLOBAL ID：200903013614434562
透明導電膜付き基体とその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-107334
公開番号（公開出願番号）：特開平9-291356
出願日： 1996年04月26日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：
【要約】【課題】低比抵抗で、しかも耐久性に優れ、電極の微細加工性にも優れ、かつ、耐アルカリ性にも優れた液晶ディスプレイに好適な透明導電膜付き基体及びその製造方法の提供。【解決手段】下地基板1上に、酸化亜鉛を主成分とする透明酸化物層2及びAg膜又はAgを主成分とする金属層3をこの順にn回繰り返して積層し、n番目の金属層3上の透明酸化物層4の上に最上層として酸化インジウムを主成分とする被覆層11を形成する。
請求項（抜粋）：
下地基板上に、透明酸化物層及び金属層がその順にn回(nは1以上の整数)繰り返して積層されているとともに、n番目の金属層上にさらに透明酸化物層が形成されてなる透明導電膜付き基体において、該金属層は、Ag膜又はAgを主成分とする膜からなり、かつ、該透明酸化物層は酸化亜鉛を主成分とし、かつ、n番目の金属層上の透明酸化物層の上に酸化インジウムを主成分とする被覆層が形成されていることを特徴とする透明導電膜付き基体。
IPC (5件)：
C23C 14/08
, C01G 9/00
, C01G 15/00
, G02F 1/1333 500
, G02F 1/1343
C23C 14/08 N
, C01G 9/00 B
, C01G 15/00 B
, G02F 1/1333 500
, G02F 1/1343
