特許

J-GLOBAL ID：200903013616784846

放熱性を有するプラズマエッチング用シリコン電極板

発明者： 衣袋 久生 ,  納田 文男 ,  森 保
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 富田 和夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-056595
公開番号（公開出願番号）：特開平11-256370
出願日： 1998年03月09日
公開日（公表日）： 1999年09月21日
要約：

【要約】【課題】 従来よりも均一にエッチングを行うことができるプラズマエッチング用シリコン電極板を提供する。【解決手段】 シリコン電極板1と冷却板3の間に冷却板よりも熱伝導性の優れた金属膜2を介在させることにより、プラズマエッチング中のシリコン電極板1の温度上昇を阻止し、中心部と周辺部とに生じる温度差が少なくし、ウエハ4のエッチング深さがウエハ全体として均一となる。

請求項（抜粋）：

貫通細孔を有するシリコン電極板を貫通細孔を有する冷却板にボルトで固定してなるプラズマエッチング用シリコン電極板において、シリコン電極板と冷却板の間に貫通細孔を有する熱伝導率の高い金属膜を介在させてなることを特徴とする放熱性を有するプラズマエッチング用シリコン電極板。

IPC (2件)：

C23F 4/00 ,  H01L 21/3065

FI (2件)：

C23F 4/00 A ,  H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• プラズマ処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-196985   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
• プラズマエッチング用平行平板電極
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-254420   出願人：株式会社創造科学, 有限会社ミヤタアールアンディー
• 特開平2-290984