LiCoO2の堆積

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：平木祐輔 , 石井貞次 , 藤田節
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-545692
公開番号（公開出願番号）：特表2008-523567
出願日： 2005年12月07日
公開日（公表日）： 2008年07月03日
要約：

本発明によれば、パルスdc物理気相堆積プロセスによるLiCoO2層の堆積が提供される。そのような堆積により、所望の<101>配向または<003>配向を有するLiCoO2の結晶性層の低温高堆積速度堆積を提供することが可能である。堆積のいくつかの実施形態は、固体再充電可能Li電池のカソード層として利用しうるLiCoO2膜の高速度堆積の必要性に対処するものである。本発明に係るプロセスの実施形態によれば、LiCoO2層を結晶化させるために慣例的に必要とされる高温(>700°C)アニール工程を省略することが可能である。本プロセスのいくつかの実施形態によれば、短時間のランプ速度の急速熱アニールプロセスを利用することにより、LiCoO2層を利用する電池を改良することが可能である。

請求項（抜粋）：

反応器内に基板を配置することと、アルゴンおよび酸素を含むガス状混合物を該反応器内に通して流動させることと、該基板に対向するように位置決めされたLiCoO2で形成されたターゲットにパルスDC電力を印加することと、を含むLiCoO2層の堆積方法であって、 LiCoO2の結晶性層が該基板上に堆積される、上記方法。

IPC (5件)：

H01M 4/04 , H01M 4/66 , H01M 10/36 , H01M 4/02 , C23C 14/06

FI (7件)：

H01M4/02 109 , H01M4/66 A , H01M10/00 107 , H01M10/00 117 , H01M10/00 102 , H01M4/02 102 , C23C14/06 N

Fターム (70件)：

4K029AA02 , 4K029AA04 , 4K029AA06 , 4K029AA09 , 4K029AA11 , 4K029AA24 , 4K029BA01 , 4K029BA41 , 4K029BA43 , 4K029BA46 , 4K029BB02 , 4K029BB03 , 4K029BB07 , 4K029BD00 , 4K029CA06 , 4K029CA13 , 4K029DC05 , 4K029DC34 , 4K029EA02 , 4K029FA06 , 4K029GA01 , 4K029HA01 , 4K029JA06 , 5H017AA03 , 5H017BB17 , 5H017CC01 , 5H017EE01 , 5H017EE04 , 5H017EE05 , 5H029AJ01 , 5H029AJ14 , 5H029AK03 , 5H029AL11 , 5H029AL12 , 5H029AM12 , 5H029BJ04 , 5H029CJ02 , 5H029CJ24 , 5H029CJ28 , 5H029CJ30 , 5H029DJ16 , 5H029DJ17 , 5H029EJ01 , 5H029EJ05 , 5H029EJ06 , 5H029EJ12 , 5H029HJ04 , 5H029HJ05 , 5H029HJ14 , 5H029HJ20 , 5H050AA01 , 5H050AA19 , 5H050BA16 , 5H050CA08 , 5H050CB11 , 5H050CB12 , 5H050DA04 , 5H050DA06 , 5H050DA07 , 5H050FA03 , 5H050FA17 , 5H050FA19 , 5H050GA02 , 5H050GA24 , 5H050GA27 , 5H050HA04 , 5H050HA05 , 5H050HA14 , 5H050HA17 , 5H050HA20

引用特許：

審査官引用 (9件)

リチウム二次電池用電極の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-030773 出願人：三洋電機株式会社
薄膜作成法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-261286 出願人：キヤノン株式会社
特許第6632563号

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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