静圧気体軸受け

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-256457
公開番号（公開出願番号）：特開平10-103354
出願日： 1996年09月27日
公開日（公表日）： 1998年04月21日
要約：

【要約】【課題】高安定性の静圧気体軸受けを提供する。【解決手段】体噴出手段として気体の浸透率が5×10-16 m2 以上、5×10-15 m2 以下の多孔質セラミックス体が組み込まれた軸受けであって、多孔質体の気体噴出面となる露出部表面が軸受け面と同一平面上にあって、該露出部表面の面積(Sp )と軸受け面の全面積(Sb )の比Sp /Sb が0.05以上、0.3以下であることを特徴とする静圧気体軸受けを提供する。本発明の静圧気体軸受けは、多孔質セラミックス体の形状を矩形枠形状又はリング形状とし、気体供給部を有するボディーに装着することにより実現できる。

請求項（抜粋）：

気体噴出手段として気体の浸透率が5×10-16 m2 以上、5×10-15 m2 以下の多孔質セラミックス体が組み込まれた軸受けであって、多孔質体の気体噴出面となる露出部表面が軸受け面と同一平面上にあって、該露出部表面の面積(SP )と軸受け面の全面積(Sb )の比SP /Sb が0.05以上、0.3以下であることを特徴とする静圧気体軸受け。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-219519
特開平4-113023
静圧軸受装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-056448 出願人：キヤノン株式会社

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