特許
J-GLOBAL ID：200903013807688600
面発光レーザアレイ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中島 淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-283091
公開番号（公開出願番号）：特開2000-114656
出願日： 1998年10月05日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：
【要約】【課題】 アレイを構成する各面発光レーザ素子が均一な形状と均一なレーザ特性を有する面発光レーザアレイ装置を提供する。【解決手段】 実際に使用する面発光レーザ素子が同一基板上に一列に配置され、その両側に、実際に使用する面発光レーザ素子の配列条件と同一の条件で、実際には面発光レーザ素子として使用しないダミー素子を配置し、実際に使用する面発光レーザ素子のプロセス環境及び駆動時の環境を均一にする。
請求項（抜粋）：
活性層と、該活性層を挟み込む1対のスペーサ層と、該スペーサ層を挟み込む1対のミラー層とを備えてなる面発光レーザ素子の複数が、同一基板上にアレイ状に配置されてなる面発光レーザアレイ装置において、実際に使用する面発光レーザ素子の外側に、該実際に使用する面発光レーザ素子の製造工程において、その製造環境を同一にするための構造を設けたことを特徴とする面発光レーザアレイ装置。
Fターム (9件)：
5F073AA74
, 5F073AB05
, 5F073AB17
, 5F073BA02
, 5F073CA04
, 5F073CA05
, 5F073CA12
, 5F073CA14
, 5F073DA05
