特許

J-GLOBAL ID：200903013820926757

リフレクター用Ag合金反射膜、及び、このAg合金反射膜を用いたリフレクター、並びに、このAg合金反射膜の形成用のAg合金スパッタリングターゲット

発明者： 高木 勝寿 ,  佐藤 俊樹 ,  中井 淳一 ,  田内 裕基
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (2件)： 梶 良之 ,  須原 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-271438
公開番号（公開出願番号）：特開2005-029849
出願日： 2003年07月07日
公開日（公表日）： 2005年02月03日
要約：

【課題】 加熱環境下においても表面平滑性に優れ、高い反射率を示すリフレクター用Ag合金反射膜およびリフレクター、並びに、このAg合金反射膜の形成用のスパッタリングターゲットを提供する。【解決手段】 (1) 表面粗さRaが2.0nm 以下であることを特徴とするリフレクター用Ag合金反射膜、(2) 前記Ag合金反射膜において希土類元素(Nd等)を合計で0.1 〜3.0 原子%、あるいは更にAu、Pd、Cu、Ptの1種以上を合計で0.5 〜5.0 原子%含有するもの、(3) 前記Ag合金反射膜が基体上に形成されているリフレクター、(4) 前記Ag合金反射膜を形成するために用いられるAg合金スパッタリングターゲットであって、希土類元素を合計で0.1 〜3.0 原子%、あるいは更にAu、Pd、Cu、Ptの1種以上を合計で0.5 〜5.0 原子%含有するもの等。【選択図】 図なし

請求項（抜粋）：

表面粗さRaが2.0nm 以下であることを特徴とするリフレクター用Ag合金反射膜。

IPC (8件)：

C23C14/06 ,  C22C5/06 ,  C23C14/34 ,  F21S8/10 ,  F21V7/00 ,  F21V7/22 ,  F21V17/00 ,  G02B1/10

FI (6件)：

C23C14/06 R ,  C22C5/06 Z ,  C23C14/34 A ,  F21V7/22 C ,  F21M3/02 E ,  G02B1/10 Z

Fターム (14件)：

2K009AA00 ,  2K009BB02 ,  2K009CC14 ,  2K009DD04 ,  3K042AA08 ,  3K042AB02 ,  4K029BA04 ,  4K029BA22 ,  4K029BD09 ,  4K029DA08 ,  4K029DC04 ,  4K029EA01 ,  4K029EA08 ,  4K029FA07

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 高耐熱性反射膜及びこの反射膜を用いた積層体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-373602   出願人：株式会社フルヤ金属
• 車両用灯具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-274865   出願人：株式会社小糸製作所

審査官引用 (4件)

• 金属ミラーおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-063353   出願人：キヤノン株式会社
• 電子部品用Ag合金膜およびAg合金膜形成用スパッタリングターゲット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-279661   出願人：日立金属株式会社, ジオマテック株式会社
• 光反射膜、反射型液晶表示素子および光反射膜用スパッタリングターゲット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-017249   出願人：株式会社神戸製鋼所
• 光情報記録媒体用の反射層または半透明反射層、光情報記録媒体及び光情報記録媒体用スパッタリングターゲット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-395894   出願人：株式会社神戸製鋼所