欠陥検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-184881
公開番号（公開出願番号）：特開2001-013085
出願日： 1999年06月30日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：

【要約】【課題】種類の異なる周期的なパターンを持つ被検物に対しても、複雑な調整や処理を行うことなく、高感度で容易に欠陥検査を行う。【解決手段】周期的パターンを有する被検物を略平行光により斜め方向から暗視野照明する暗視野照明光学系と、被検物を撮像する撮像素子を持つ撮像光学系と、撮像された暗視野画像データに基づいて欠陥を検査する手段とを備え、暗視野照明の照明方向と撮像光学系の撮像方向との相対的な位置関係はパターンの周期と暗視野照明光の波長とによって定まる回折角に基づいて決定され、被検物に平行な方向の暗視野照明の開口角と撮像光学系が持つ撮像レンズの被検物側開口角の合計は、パターンの周期と暗視野照明光の波長とによって定まる回折角より小さく設定されていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

周期的パターンを有する被検物の欠陥を検査する欠陥検査装置において、被検物を略平行光により斜め方向から暗視野照明する暗視野照明光学系と、暗視野照明された被検物を撮像する撮像素子を持つ撮像光学系と、前記撮像素子により撮像された暗視野画像データに基づいて欠陥を検査する欠陥検査手段とを備え、前記暗視野照明の照明方向と前記撮像光学系の撮像方向との相対的な位置関係は前記パターンの周期と暗視野照明光の波長とによって定まる回折角に基づいて決定され、被検物に平行な方向の暗視野照明の開口角と前記撮像光学系が持つ撮像レンズの被検物側開口角の合計は、前記パターンの周期と暗視野照明光の波長とによって定まる回折角より小さく設定されていることを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/956 , G06T 7/00 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01N 21/956 A , H01L 21/66 J , G06F 15/62 405 A

Fターム (44件)：

2G051AA51 , 2G051AB01 , 2G051AB07 , 2G051BA20 , 2G051BB05 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB05 , 2G051CB06 , 2G051DA07 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051FA10 , 4M106AA01 , 4M106AA02 , 4M106BA04 , 4M106CA38 , 4M106CA41 , 4M106DB04 , 4M106DB07 , 4M106DB15 , 4M106DB19 , 4M106DB30 , 4M106DJ04 , 4M106DJ11 , 4M106DJ14 , 4M106DJ21 , 4M106DJ23 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057BA17 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CB08 , 5B057CB12 , 5B057CB16 , 5B057CC02 , 5B057CE08 , 5B057CE09 , 5B057CE11 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB09

引用特許：

審査官引用 (6件)

自動マクロ検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-234505 出願人：株式会社ニコン
特開平3-266844
特開平1-147349

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