特許
J-GLOBAL ID:200903013897531240

被加工物輪郭認識装置及びこれを含む加工機

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小野 尚純
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-226947
公開番号(公開出願番号):特開2002-039725
出願日: 2000年07月27日
公開日(公表日): 2002年02月06日
要約:
【要約】【課題】 著しく小型化され得る被加工物輪郭認識装置(116)、及びかかる被加工物輪郭認識を備えた加工機(2)を提供する。【解決手段】 加工機の待機域(52)には被加工物組立体(66)を支持するための支持手段(80)が配設されている。支持手段に支持されている被加工部組立体における被加工物の輪郭を認識するための被加工物輪郭認識装置は、相互に対向して配設された発光手段(118)と撮像手段(120)とを具備する。発光手段は平板状のエレクトロルミネッセンス素子(122、124)から構成されている。
請求項(抜粋):
中央部に装着開口を有する装着フレームと該装着フレームの該装着開口中に透明乃至半透明テープを介して装着された平板状被加工物とから構成された被加工物組立体における該被加工物の輪郭を認識するための被加工物輪郭認識装置にして、相互に対向して配設された発光手段と撮像手段とを具備し、該発光手段と該撮像手段との間に該被加工物組立体における該被加工物が配置され、該発光手段から投光された光が該被加工物の周囲を通過して該撮像手段に受光せしめられる、被加工物輪郭認識装置において、該発光手段は平板状のエレクトロルミネッセンス素子から構成されている、ことを特徴とする被加工物輪郭認識装置。
IPC (2件):
G01B 11/24 ,  H01L 21/301
FI (2件):
G01B 11/24 K ,  H01L 21/78 C
Fターム (14件):
2F065AA52 ,  2F065BB01 ,  2F065CC19 ,  2F065FF04 ,  2F065GG01 ,  2F065GG18 ,  2F065HH02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM23 ,  2F065PP11 ,  2F065QQ31 ,  2F065UU01
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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