特許
J-GLOBAL ID:200903013941127380
駆動ミラー及び光走査光学装置並びに画像表示装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
佐野 静夫
, 山田 茂樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-189284
公開番号(公開出願番号):特開2007-010823
出願日: 2005年06月29日
公開日(公表日): 2007年01月18日
要約:
【課題】 光源から発せられた光ビームを走査できるように、ミラーが回転可能に設けられる駆動ミラーにおいて、ミラー速度を高速にし、ミラーの振れ角を増大しても装置耐久性の要求を満足できる駆動ミラーを提供する。また、そのような駆動ミラーを備える光走査光学装置及び画像表示装置を提供する。 【解決手段】 駆動ミラー22は、ミラー部24と、ミラー部24を保持する梁25と、梁25を支える固定枠26と、梁25を回転するために設けられた腕部27a〜27dと、腕部27a〜27dに設けられる圧電膜28とで構成される。なお、腕部27aと腕部27b、及び腕部27cと腕部27dは、それぞれ一対で駆動腕29a、29bを構成する。圧電体28に電圧が印加されると圧電体28の伸縮と伴に駆動腕29a、29bが変位し、梁25に回転力が発生される。【選択図】 図6
請求項(抜粋):
光を反射する反射面を設けたミラー部と、前記ミラー部を保持する梁と、前記梁を固定する固定部と、前記梁を圧電素子の伸縮により回転させる駆動部と、を備える駆動ミラーにおいて、
前記駆動部は、前記梁を挟むように前記梁に連結される2本の腕部から成る駆動腕を少なくとも1本有し、前記腕部は前記梁と略垂直に配置され、前記腕部それぞれには前記圧電素子が設けられることを特徴とする駆動ミラー。
IPC (1件):
FI (2件):
G02B26/10 104Z
, G02B26/10 C
Fターム (6件):
2H045AB10
, 2H045AB13
, 2H045AB38
, 2H045AB72
, 2H045AB81
, 2H045BA12
引用特許: