特許

J-GLOBAL ID：200903013966062290

タッチセンサ

発明者： 鳴海 達也
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-272452
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091236
出願日： 1999年09月27日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】 スタイラスの軸方向に対して有害な曲げ振動の発生を防止することで、微細な表面形状の測定を可能にするタッチセンサを提供する。【解決手段】 スタイラス1は、その軸方向に略対称の構造である。スタイラス1とスタイラスホルダ5とを連結する支持部材6〜9のスタイラス側の支持部10〜13は、スタイラスの重心3に対してスタイラスの軸方向に対称となる複数個所で、更に、その各個所においてスタイラスの軸4に対称な複数個所である。スタイラスの軸方向同一個所における各組の支持部材の重心が略前記軸上にある。加振手段31および検出手段32の少なくとも一方は、重心3から等距離となる少なくともスタイラス上の2個所に橋渡しされるように設けられている。

請求項（抜粋）：

スタイラスホルダと、このスタイラスホルダに支持されるスタイラスと、前記スタイラスを共振状態で振動させるための加振手段と、前記スタイラスの先端部が被測定物に接触する際に生ずる前記共振状態の変化から前記接触を検出する検出手段とを含むタッチセンサにおいて、前記スタイラスは、その軸方向に略対称の構造であり、前記スタイラスと前記スタイラスホルダとを連結する支持部材のスタイラス側の支持部は、前記スタイラスの重心に対して前記スタイラスの軸方向に対称となる複数個所で、更に、その各個所において前記スタイラスの軸に対称な複数個所であり、前記スタイラスの軸方向同一個所における各組の支持部材の重心が略前記軸上に有る、ことを特徴とするタッチセンサ。

IPC (2件)：

G01B 21/00 ,  G01B 7/00

FI (2件)：

G01B 21/00 B ,  G01B 7/00 S

Fターム (21件)：

2F063AA04 ,  2F063CA09 ,  2F063DA02 ,  2F063EB02 ,  2F063EB16 ,  2F063EB23 ,  2F063JA01 ,  2F069AA04 ,  2F069AA60 ,  2F069AA66 ,  2F069DD09 ,  2F069DD19 ,  2F069GG01 ,  2F069GG06 ,  2F069GG09 ,  2F069GG19 ,  2F069GG62 ,  2F069HH01 ,  2F069LL03 ,  2F069MM04 ,  2F069MM31

引用特許：

出願人引用 (3件)

• タッチセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-272451   出願人：株式会社ミツトヨ
• タッチ信号プローブ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-265257   出願人：株式会社ミツトヨ
• タッチ信号プローブ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-334978   出願人：株式会社ミツトヨ

審査官引用 (1件)

• タッチセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-272451   出願人：株式会社ミツトヨ