特許
J-GLOBAL ID：200903073018299324

タッチ信号プローブ

発明者：
西村 国俊

西村 国俊 について

, 
日高 和彦

日高 和彦 について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


代理人 (1件)： 木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-265257
公開番号（公開出願番号）：特開平9-113251
出願日： 1995年10月13日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：
【要約】【課題】振動子をスタイラスホルダに確実に支持し、かつ、温度変化があっても振動を妨害せずに高感度・高精度を達成できるタッチ信号プローブの提供。【解決手段】スタイラスホルダ2に略柱状の振動子3を支持し、この振動子3の軸方向固有振動の節近傍に加振素子4A及び検出素子4Bを配置したタッチ信号プローブ1において、振動子3の軸方向固有振動の節部にあって振動子3の軸方向と交差する方向の片側に腕部7を延伸し、この腕部7を介して振動子3をスタイラスホルダ2に結合する。
請求項（抜粋）：
スタイラスホルダと、このスタイラスホルダに支持されているとともに先端に被測定物と接触する接触部を有する略柱状の振動子と、この振動子の軸方向固有振動の節近傍に配置されるとともに前記固有振動数に略一致した振動数で前記振動子を加振する加振素子と、前記振動子の軸方向固有振動の節近傍に配置されるとともに前記接触部が被測定物に接触する際にこの接触による振動状態の変化を検出する検出素子とを含むタッチ信号プローブにおいて、前記振動子の軸方向固有振動の節部にあって前記振動子の軸方向と交差する方向の片側に腕部を延伸し、この腕部を介して前記振動子を前記スタイラスホルダに結合することを特徴とするタッチ信号プローブ。
IPC (3件)：
G01B 21/00 ,  G01B 7/00 ,  H01L 41/09
FI (3件)：
G01B 21/00 B ,  G01B 7/00 S ,  H01L 41/08 C
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (1件)
  • タッチ信号プローブ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-302689   出願人：株式会社ミツトヨ

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