特許
J-GLOBAL ID：200903014028645267

接着フィルム及びこれを用いた半導体装置

発明者：
長谷川 雄二

長谷川 雄二 について

, 
増子 崇

増子 崇 について


出願人/特許権者：
日立化成工業株式会社

日立化成工業株式会社 について


代理人 (1件)： 穂高 哲夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-029287
公開番号（公開出願番号）：特開2003-226857
出願日： 2002年02月06日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：
【要約】【課題】 半導体素子のダイボンド用として42アロイリードフレームに用いられるばかりでなく、銅リードフレームにも使用でき、更に絶縁性支持基板にも使用できる低応力・低温接着性の接着フィルムを提供する。【解決手段】 式(I)【化1】で表されるテトラカルボン酸二無水物を全テトラカルボン酸二無水物の30モル%以上含むテトラカルボン酸二無水物と、式(II)【化2】(ただし、Q1、Q2及びQ3は炭素数1〜10のアルキレンを示しnは2〜30の整数を示す。)で表されるジアミンを全ジアミン重量の10%以上含むジアミンとを反応させて得られるポリイミド樹脂を含有してなる接着フィルム、及びこの接着フィルムを用いて作製した半導体装置。
請求項（抜粋）：
式(I)【化1】で表されるテトラカルボン酸二無水物を全テトラカルボン酸二無水物の30モル%以上含むテトラカルボン酸二無水物と、式(II)【化2】(ただし、Q1、Q2及びQ3は炭素数1〜10のアルキレンを示しnは2〜30の整数を示す。)で表されるジアミンを全ジアミン重量の10%以上含むジアミンとを反応させて得られるポリイミド樹脂を含有してなる接着フィルム。
IPC (5件)：
C09J179/08 ,  C08G 73/10 ,  C09J 7/00 ,  C09J201/00 ,  H01L 21/52
FI (5件)：
C09J179/08 Z ,  C08G 73/10 ,  C09J 7/00 ,  C09J201/00 ,  H01L 21/52 E
Fターム (125件)：
4J004AA02 ,  4J004AA03 ,  4J004AA11 ,  4J004AA18 ,  4J004BA02 ,  4J004FA05 ,  4J040EB031 ,  4J040EB032 ,  4J040EC001 ,  4J040EC002 ,  4J040EH031 ,  4J040EH032 ,  4J040HA066 ,  4J040HA136 ,  4J040HA306 ,  4J040HA346 ,  4J040HA366 ,  4J040JA09 ,  4J040JB02 ,  4J040KA32 ,  4J040KA42 ,  4J040LA06 ,  4J040LA09 ,  4J040MA02 ,  4J040NA20 ,  4J043PA02 ,  4J043PA04 ,  4J043PC11 ,  4J043PC14 ,  4J043QB15 ,  4J043QB26 ,  4J043RA35 ,  4J043SA06 ,  4J043SA43 ,  4J043SA44 ,  4J043SA47 ,  4J043SA72 ,  4J043SB01 ,  4J043SB02 ,  4J043TA12 ,  4J043TA22 ,  4J043TA43 ,  4J043TA44 ,  4J043TA61 ,  4J043TA66 ,  4J043TA67 ,  4J043TA70 ,  4J043TA71 ,  4J043TA74 ,  4J043TA78 ,  4J043TB01 ,  4J043TB02 ,  4J043UA022 ,  4J043UA032 ,  4J043UA052 ,  4J043UA082 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA141 ,  4J043UA142 ,  4J043UA151 ,  4J043UA152 ,  4J043UA252 ,  4J043UA262 ,  4J043UA332 ,  4J043UA382 ,  4J043UA622 ,  4J043UA632 ,  4J043UA652 ,  4J043UA662 ,  4J043UA672 ,  4J043UA712 ,  4J043UA761 ,  4J043UA771 ,  4J043UA781 ,  4J043UB011 ,  4J043UB012 ,  4J043UB021 ,  4J043UB022 ,  4J043UB051 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB131 ,  4J043UB151 ,  4J043UB152 ,  4J043UB172 ,  4J043UB281 ,  4J043UB282 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB312 ,  4J043UB321 ,  4J043UB351 ,  4J043UB401 ,  4J043UB402 ,  4J043VA011 ,  4J043VA012 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA031 ,  4J043VA032 ,  4J043VA041 ,  4J043VA051 ,  4J043VA061 ,  4J043VA062 ,  4J043VA071 ,  4J043VA081 ,  4J043VA092 ,  4J043VA102 ,  4J043WA05 ,  4J043WA09 ,  4J043WA16 ,  4J043XA16 ,  4J043XA17 ,  4J043XA19 ,  4J043YA06 ,  4J043YA08 ,  4J043ZA02 ,  4J043ZB11 ,  5F047BA33 ,  5F047BB03
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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