特許
J-GLOBAL ID：200903014038335258
ポジ型感光性樹脂組成物
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-217692
公開番号（公開出願番号）：特開平11-109620
出願日： 1998年07月31日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】【課題】 高感度で高残膜率のパターンを得ることができ、かつ封止樹脂との密着性に優れたポジ型感光性樹脂を提供する。【解決手段】 一般式(1)で示されるポリアミド(A)100重量部と感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部と一般式(2)で表されるフェノール化合物(C)1〜30重量部とからなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【化2】
請求項（抜粋）：
一般式(1)で示されるポリアミド(A)100重量部と感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部と一般式(2)で表されるフェノール化合物(C)1〜30重量部とからなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【化2】
IPC (8件)：
G03F 7/022
, C08G 69/32
, C08K 5/13
, C08K 5/23
, C08L 77/06
, G03F 7/037
, G03F 7/075
, H01L 21/027
G03F 7/022
, C08G 69/32
, C08K 5/13
, C08K 5/23
, C08L 77/06
, G03F 7/037
, G03F 7/075
, H01L 21/30 502 R
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る
