特許
J-GLOBAL ID：200903014044836862

レーザを用いたガラスの加工方法

発明者：
小用 広隆

小用 広隆 について

, 
常友 啓司

常友 啓司 について

, 
小路谷 将範

小路谷 将範 について


出願人/特許権者：
日本板硝子株式会社

日本板硝子株式会社 について


代理人 (2件)： 鎌田 耕一 ,  黒田 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-046859
公開番号（公開出願番号）：特開2006-290630
出願日： 2005年02月23日
公開日（公表日）： 2006年10月26日
要約：
【課題】 ガラスに微小な孔や溝を容易かつ安価に形成できる加工方法を提供する。 【解決手段】 (i)波長λのレーザパルス12をレンズで集光してガラス(ガラス板12)に照射することによって、ガラスのうちレーザパルス12が照射された部分に変質部13を形成する工程と、(ii)ガラスに対するエッチングレートよりも変質部13に対するエッチングレートが大きいエッチング液を用いて変質部13をエッチングする工程とを含む。レーザパルス12のパルス幅が1ns〜200nsの範囲にあり、波長λが535nm以下であり、波長λにおけるガラスの吸収係数が100cm-1以下であり、レンズの焦点距離L(mm)を、レンズに入射する際のレーザパルスのビーム径D(mm)で除した値が7以上である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
(i)波長λのレーザパルスをレンズで集光してガラスに照射することによって、前記ガラスのうち前記レーザパルスが照射された部分に変質部を形成する工程と、 (ii)前記ガラスに対するエッチングレートよりも前記変質部に対するエッチングレートが大きいエッチング液を用いて前記変質部をエッチングする工程とを含み、 前記レーザパルスのパルス幅が1ns〜200nsの範囲にあり、 前記波長λが535nm以下であり、 前記波長λにおける前記ガラスの吸収係数が100cm-1以下であり、 前記レンズの焦点距離L(mm)を、前記レンズに入射する際の前記レーザパルスのビーム径D(mm)で除した値が7以上である、ガラスの加工方法。
IPC (3件)：
C03C 23/00 ,  C03C 15/00 ,  H01S 3/00
FI (3件)：
C03C23/00 D ,  C03C15/00 B ,  H01S3/00 B
Fターム (8件)：
4G059AA01 ,  4G059AB07 ,  4G059AB11 ,  4G059AB19 ,  4G059AC01 ,  4G059BB01 ,  4G059BB12 ,  5F172ZZ01
引用特許：
出願人引用 (4件)
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