特許
J-GLOBAL ID：200903014088497313
輪郭抽出方法及びその装置及びそのプログラム
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-012397
公開番号（公開出願番号）：特開2003-216959
出願日： 2002年01月22日
公開日（公表日）： 2003年07月31日
要約：
【要約】【課題】多階調を有したウェハパターン画像及びフォトマスクパターン画像において、ノイズや濃淡ムラが存在する場合でも、最適な輪郭線を抽出する手段を有する画像処理方法を提供する。【解決手段】選択された領域の階層エッジデータを作成し、これを利用して追跡開始点の特定と輪郭追跡処理を行うことで輪郭データを抽出した後、動的輪郭モデルによる補正処理によって輪郭データを滑らかに補正することにより、ノイズや濃淡ムラがある場合においても元のパターン画像と一致しかつ滑らかな輪郭線の抽出が可能となる。
請求項（抜粋）：
半導体ウェハ及びフォトマスクの多階調を有するパターン画像からパターンの輪郭を抽出する輪郭抽出方法において、(a)輪郭を抽出する画像の範囲を選択する領域選択ステップと、(b)選択された領域の画像情報から縦横方向と階層構造を持つ階層エッジデータを作成するエッジデータ作成ステップと、(c)パターンの輪郭を追跡し始める点を抽出する追跡開始点抽出ステップと、(d)階層エッジデータを利用してパターンの輪郭データを生成する輪郭追跡ステップと、(e)パターンの輪郭データから代表点を抽出し、動的輪郭モデル計算によって滑らかな輪郭に変換する輪郭データ補正処理ステップと、(f)補正された輪郭データから補間計算によって連続した輪郭線を生成する輪郭線生成ステップと、からなるステップを実行することによりパターン画像の輪郭を抽出することを特徴とする輪郭抽出方法。
IPC (2件)：
G06T 7/60 250
, G06T 1/00 305
G06T 7/60 250 B
, G06T 1/00 305 B
5B057AA03
, 5B057CE05
, 5B057CE15
, 5B057DA06
, 5B057DB02
, 5B057DB09
, 5B057DC07
, 5B057DC17
, 5B057DC23
, 5L096AA06
, 5L096BA03
, 5L096DA01
, 5L096EA06
, 5L096EA33
, 5L096FA06
, 5L096FA13
, 5L096FA37
, 5L096FA66
, 5L096FA67
, 5L096GA15
, 5L096GA19
, 5L096GA51
, 5L096JA20
