平面無機デバイス

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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：青木篤 , 石田敬 , 古賀哲次 , 永坂友康 , 西山雅也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-541741
公開番号（公開出願番号）：特表2006-501520
出願日： 2003年09月26日
公開日（公表日）： 2006年01月12日
要約：

無機構造を製造するための方法であって、(a)光反応性組成物を基材に付与する工程であって、組成物が、反応種と、光開始剤系と、複数の実質的に無機のコロイド粒子であって、粒子の平均粒度が約300nm未満であるコロイド粒子とを含む、工程と、(b)組成物をフォトパターニングして、構造を規定する工程と、(c)反応種を熱分解し、かつ粒子を少なくとも部分的に溶融するのに十分な時間、構造を高温に曝す工程とを含む方法。

請求項（抜粋）：

無機構造を製造するための方法であって、 (a)光反応性組成物を基材に付与する工程であって、前記組成物が、反応種と、光開始剤系と、複数の実質的に無機のコロイド粒子であって、前記粒子の平均粒度が約300nm未満であるコロイド粒子とを含む、工程と、 (b)前記組成物をフォトパターニングして、構造を規定する工程と、 (c)前記反応種を熱分解し、かつ前記粒子を少なくとも部分的に溶融するのに十分な時間、前記構造を高温に曝す工程とを含む方法。

IPC (5件)：

G02B 6/13 , G02B 1/00 , G03F 7/004 , G03F 7/40 , G02B 6/12

FI (5件)：

G02B6/12 M , G02B1/00 , G03F7/004 501 , G03F7/40 521 , G02B6/12 N

Fターム (28件)：

2H025AA06 , 2H025AA10 , 2H025AA13 , 2H025AB14 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC42 , 2H025CA00 , 2H025CA48 , 2H025CC08 , 2H025CC20 , 2H025FA29 , 2H025FA39 , 2H096AA28 , 2H096BA05 , 2H096HA01 , 2H096HA30 , 2H147EA13C , 2H147EA14C , 2H147EA16A , 2H147EA16B , 2H147EA19A , 2H147EA19B , 2H147EA20A , 2H147EA20B , 2H147FA17 , 2H147FB04

引用特許：

審査官引用 (10件)

多層光学システムを製造する方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-550797 出願人：インスティトゥートフィアノイエマテリアーリエンゲマインニュッツィゲゲゼルシャフトミットベシュレンクタハフトゥンク
パターン形成方法及び感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-094273 出願人：株式会社関西新技術研究所
無機質含有感光性樹脂組成物および無機パターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-001252 出願人：株式会社関西新技術研究所

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