感光性樹脂組成物およびパターン形成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鍬田充生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-126201
公開番号（公開出願番号）：特開平11-327125
出願日： 1998年05月08日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：

【要約】【課題】慣用のレジストやリソグラフィ技術を利用して、酸素プラズマ耐性,耐熱性,耐ドライエッチング性,感度や解像度を大きく改善する。【解決手段】感光性樹脂組成物は、感光性樹脂に、露光波長よりも小さな平均粒子径(例えば、1〜100nm程度)の無機微粒子を添加することにより調製でき、特殊なレジストを用いる必要がない。無機微粒子は、官能基(例えば、感光性基)を有していてもよいコロイダルシリカなどで構成できる。感光性樹脂組成物は、ネガ型又はポジ型のいずれであってもよく、水又はアルカリ現像可能であってもよい。無機微粒子の使用量は、固形分換算で、通常、感光性樹脂100重量部に対して10〜500重量部程度である。

請求項（抜粋）：