光透過性対象物の検査方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：高矢諭 , 松山圭佑 , 牧野剛博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-170183
公開番号（公開出願番号）：特開2004-012423
出願日： 2002年06月11日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：

【課題】複数の照明方式を採用することなく、光透過性の対象物の表面及び内部の品質を高精度に検査できるようにする。【解決手段】光透過性の板状の対象物Wの下面に沿って、所定の基準パターンが形成されている基準板14を配置し、該基準板14を、前記対象物Wの下面に沿って所定量ずつ移動させながら、該対象物Wの上方からカメラ12により前記基準パターンを撮像して観察し、良品観察時との差に基づいて、同対象物Wの欠陥を検出する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

光透過性のフィルム状又は板状の対象物の一方の面に沿って、所定の基準パターンが形成されている基準板を配置し、該対象物の他方の面から前記基準パターンを観察し、良品観察時との差に基づいて、同対象物の欠陥を検出することを特徴とする光透過性対象物の検査方法。

IPC (1件)：

G01N21/958

FI (1件)：

G01N21/958

Fターム (14件)：

2G051AA41 , 2G051AA42 , 2G051AA84 , 2G051AB06 , 2G051AB07 , 2G051AC21 , 2G051CA04 , 2G051CB02 , 2G051CB05 , 2G051DA05 , 2G051EA08 , 2G051EA11 , 2G051ED15 , 2G051ED21

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭60-119404
光学品質を決定する方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-178133 出願人：フォード・モーター・カンパニー
透明板状体の欠点検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-113251 出願人：セントラル硝子株式会社

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