特許

J-GLOBAL ID：200903014180338981

走査プローブ顕微鏡用カンチレバー

発明者： 白川部 喜春 ,  高橋 寛 ,  清水 信宏
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-209459
公開番号（公開出願番号）：特開平11-051947
出願日： 1997年08月04日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】 カンチレバーの振動時に受ける抵抗を軽減して試料表面形状を正確に測定することができるようにする。【解決手段】 少なくともカンチレバー10が最も大きく振動する部分に貫通孔14を形成することにより、カンチレバー10が使用雰囲気中で振動する際に受ける抵抗が軽減される。さらに、抵抗を軽減するために、この貫通孔14やカンチレバーの外周側壁部にテーパを形成しても良い。

請求項（抜粋）：

先端部に探針が設けられ片持ち支持されたカンチレバーを走査プローブとして試料表面を走査させて試料表面の形状を検出する走査プローブ顕微鏡用カンチレバーにおいて、前記カンチレバーの振動部分に振動時に受ける抵抗を低減する貫通孔が形成されたことを特徴とする走査プローブ顕微鏡用カンチレバー。

IPC (2件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30

FI (2件)：

G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 複合顕微鏡の導電性カンチレバ-とホルダ-
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-230487   出願人：日新電機株式会社
• カンチレバー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-117326   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開平4-321954
  
• 特開平4-321954