特許
J-GLOBAL ID：200903014212897090

ガラス基板の搬送方法および搬送システム

発明者：
藤田 有司

藤田 有司 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (6件)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-329359
公開番号（公開出願番号）：特開2005-053705
出願日： 2004年11月12日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：
【課題】 人員の削減および、人件費の削減とランニングコストの削減、基板への影響をなくし、工場の配送スペースの縮小ができる、ガラス基板の搬送方法を提供する。【解決手段】 ガラス基板の搬送方法は、A工場からB工場までガラス基板を搬送するガラス基板の搬送方法であって、A工場に配置されたガラス基板カセット移載ステーション5のドア4を開けて、ガラス基板カセット1をガラス基板カセット移載ステーション5に移動する工程と、ドア4を閉じる工程と、ガラス基板カセット1を収容する専用ボックス6をガラス基板カセット移載ステーション5のドア13に気密的に密着させる工程と、ドア13および専用ボックス6のオートドア11を開けて、ガラス基板カセット1を専用ボックス6に収容する工程と、ドア13およびオートドア11を閉じる工程とを含む。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
第1工場から第2工場までガラス基板を搬送するガラス基板の搬送方法であって、 前記第1工場に配置された第1移載ステーションの搬入口を開けて、ガラス基板カセットを前記第1移載ステーションに移動する工程と、 前記第1移載ステーションの搬入口を閉じる工程と、 前記ガラス基板カセットを収容する専用ボックスを前記第1移載ステーションの搬出口に気密的に密着させる工程と、 前記第1移載ステーションの搬出口および前記専用ボックスのドアを開けて、前記ガラス基板カセットを前記専用ボックスに収容する工程と、 前記第1移載ステーションの搬出口および前記専用ボックスのドアを閉じる工程と を含む、ガラス基板の搬送方法。
IPC (4件)：
B65G49/06 ,  B65D85/86 ,  B65G49/00 ,  H01L21/68
FI (5件)：
B65G49/06 Z ,  B65G49/00 A ,  H01L21/68 A ,  H01L21/68 T ,  B65D85/38 R
Fターム (21件)：
3E096AA13 ,  3E096BA20 ,  3E096BA24 ,  3E096BB03 ,  3E096CA02 ,  3E096CB03 ,  3E096DA26 ,  3E096FA01 ,  3E096FA03 ,  3E096FA31 ,  5F031CA05 ,  5F031DA08 ,  5F031DA19 ,  5F031EA14 ,  5F031EA19 ,  5F031FA02 ,  5F031FA03 ,  5F031GA19 ,  5F031NA02 ,  5F031NA09 ,  5F031NA10
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM