インピーダンス測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大原拓也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-384187
公開番号（公開出願番号）：特開2003-185686
出願日： 2001年12月18日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：

【要約】【課題】インピーダンス測定装置において、プローブケーブルに寄生する静電容量による測定誤差を最小限に低減する。【解決手段】測定器本体30と、測定器本体30から分離可能なヘッドアンプ40とを有し、測定器本体30側に測定信号発生回路11,電圧検出回路12および電流検出回路13を設けるとともに、ヘッドアンプ40側にそれらのアンプ111,121,122,131を設けて、ヘッドアンプ40を測定器本体30から離して、できるだけ例えば自動検査機のプローブやフィクスチュアなどの接続治具の近傍に配置可能とし、プローブケーブルに寄生する静電容量による測定誤差を最小限に低減する。

請求項（抜粋）：

出力アンプを介して被測定試料に交流の測定信号を与える発振回路と、上記被測定試料の両端電圧を電圧検出アンプを介して検出する電圧検出回路と、上記被測定試料に流れる電流を電流検出アンプを介して検出する電流検出回路とを含み、上記電圧検出回路の出力電圧と上記電流検出回路の出力電流とから上記被測定試料のインピーダンスを測定するインピーダンス測定装置において、測定器本体と、上記測定器本体から取り外し可能なヘッドアンプとを備え、上記測定器本体には、上記発振回路,上記電圧検出回路および上記電流検出回路が設けられ、上記ヘッドアンプには、上記出力アンプ,上記電圧検出アンプおよび上記電流検出アンプが搭載されているとともに、これらの各アンプに測定ケーブルを介してプローブを接続する接続端子が設けられ、上記測定器本体と上記ヘッドアンプとの間には、上記発振回路-上記出力アンプ間,上記電圧検出回路-上記電圧検出アンプ間,上記電流検出回路-上記電流検出アンプ間をそれぞれ接続する接続手段が設けられていることを特徴とするインピーダンス測定装置。

Fターム (11件)：

2G028AA01 , 2G028CG08 , 2G028DH05 , 2G028DH14 , 2G028FK01 , 2G028FK02 , 2G028GL15 , 2G028HN10 , 2G028HN11 , 2G028HN13 , 2G028MS03

引用特許：

出願人引用 (6件)

電気特性測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-062117 出願人：積水化学工業株式会社
特開平1-235345
特開平2-190770

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審査官引用 (6件)

電気特性測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-062117 出願人：積水化学工業株式会社
特開平1-235345
特開平2-190770

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