真空対応型静圧気体軸受

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-347919
公開番号（公開出願番号）：特開2003-148473
出願日： 2001年11月13日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：

【要約】【課題】可動体と固定体との微少隙間より圧縮気体が外部に漏れ、真空度を低下させることのない真空対応型静圧気体軸受を提供する。【解決手段】真空対応型静圧気体軸受10を構成する可動体2の固定体1と対向する軸受面11に備える圧縮気体の給気口12aと、圧縮気体の排気溝13との間に外周方向に延びるスリット7を形成し、可動体2の端部と固定体1との隙間が拡大することを防止する。

請求項（抜粋）：

固定体と、該固定体を囲繞する可動体とからなり、上記可動体の固定体と対向する軸受面に、上記可動体と固定体との隙間に圧縮気体を供給して静圧気体層を形成するための給気口と、上記圧縮気体を回収するための排気溝とを備えた真空対応型静圧気体軸受において、上記可動体の給気口と排気溝との間にスリットを設けたことを特徴とする真空対応型静圧気体軸受。

Fターム (8件)：

3J102AA02 , 3J102BA05 , 3J102CA10 , 3J102EA02 , 3J102EA07 , 3J102EA24 , 3J102EA30 , 3J102GA19

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平2-057721
静圧流体軸受
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-139326 出願人：京セラ株式会社
静圧気体軸受構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-306084 出願人：東陶機器株式会社

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