特許
J-GLOBAL ID：200903014274916563

液晶注入装置

発明者：
岡本 英樹

岡本 英樹 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (2件)： 喜多 俊文 ,  江口 裕之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-198634
公開番号（公開出願番号）：特開2006-023326
出願日： 2004年07月05日
公開日（公表日）： 2006年01月26日
要約：
【課題】 セルを液晶皿に接液した後、セルを載せたカセットトレイと液晶皿を載せた液晶皿トレイを、簡単な機構で円滑に移動させることができる液晶注入装置を提供する。【解決手段】 セル13が載せられたカセットトレイ13aが、外部からチャンバ内にカセットトレイ搬送系13bで搬入される。同時に液晶皿14を載せた液晶皿トレイ14aが昇降軸22aの駆動コロを有する液晶皿トレイ搬送系22b上に搬入される。チャンバ内が真空に排気される。そして、昇降軸22aを上昇させ、セル13が液晶皿14の液晶に接液し、さらに上昇すると、カセットトレイ13aがカセットトレイ搬送系13bから離れる。チャンバ内に窒素ガスを導入し大気圧にする。そして、液晶皿トレイ14aを液晶皿トレイ搬送系22bの搬送駆動コロによってカセットトレイ13aと共に次のチャンバ内に搬送される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
液晶皿内の液晶を注入するための液晶流入口を有するセルがセットされたカセットトレイと、液晶皿を載せた液晶皿トレイと、液晶皿トレイを昇降する昇降機構と真空排気系および窒素ガス導入系を備えた第1のチャンバと、液晶皿トレイを昇降する昇降機構を備えた第2のチャンバと、外部および各チャンバ間を仕切るゲートバルブと、セルを載せたカセットトレイおよび液晶皿を載せた液晶トレイをチャンバに搬入・搬出するカセットトレイ搬送系および液晶皿トレイ搬送系を設けた液晶注入装置において、第1のチャンバ内で液晶皿トレイを前記昇降機構によって上昇しセルに接液させると液晶皿トレイがカセットトレイを持ち上げカセットトレイをカセットトレイ搬送系から離脱させる機構と、第1チャンバから第2チャンバへ液晶皿トレイを搬送駆動コロによって液晶皿トレイとカセットトレイが共に搬送され、第2チャンバで所定の時間後、前記液晶皿トレイを下降させる機構を設けたことを特徴とする液晶注入装置。
IPC (1件)：
G02F 1/134
FI (1件)：
G02F1/1341
Fターム (10件)：
2H089LA21 ,  2H089NA25 ,  2H089NA31 ,  2H089NA55 ,  2H089NA56 ,  2H089NA60 ,  2H089PA11 ,  2H089QA12 ,  2H089QA13 ,  2H089QA16
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 液晶注入装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-017995   出願人：株式会社島津製作所
審査官引用 (4件)
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