特許
J-GLOBAL ID:200903010935878560

液晶注入装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 喜多 俊文 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-017995
公開番号(公開出願番号):特開2003-215611
出願日: 2002年01月28日
公開日(公表日): 2003年07月30日
要約:
【要約】【課題】 液晶セルに液晶を接液したままで、液晶セルと液晶皿とを簡便に別のチャンバへ移動することができる液晶注入装置の提供。【解決手段】 液晶セル11の液晶注入口が液晶皿13の液晶に接触した状態で、チャンバC1からチャンバC2へ液晶セル11及び液晶皿13を装填するために、液晶セル11を保持するカセットトレイ12と液晶皿13を載置した液晶皿トレイ14に設けた位置決めピン21と位置決め用穴24とからなる連結手段により、カセットトレイ12と液晶皿トレイ14とを連結し、コンベア16により移動するカセットトレイ12と共に移動する液晶皿トレイ14は、昇降台22に設けた多数のコロ25で移動が助長される。
請求項(抜粋):
液晶が注入される液晶セルと液晶を収容した液晶皿とが装填される導入室と、前記導入室とゲートバルブを介して設けられ、前記液晶セルと前記液晶皿とが装填される注入室と、前記導入室を真空排気するための真空排気系と、前記導入室に不活性ガスを導入するための不活性ガス導入系と、前記導入室に前記液晶セルと前記液晶皿とを相対的に接近させる接近機構と、前記注入室に前記液晶セルと前記液晶皿とを相対的に離別させる離別機構とを備え、前記導入室に液晶セル及び液晶皿を装填し、前記真空排気系で真空排気することで該導入室に導入された前記液晶セルを真空引きした後、前記接近機構で前記液晶セルの液晶注入口が前記液晶皿の液晶に接触するよう相対的に接近してから前記不活性ガス導入系で不活性ガスを導入することによって、前記液晶セルへの液晶注入を開始する液晶注入装置において、前記液晶セルの液晶注入口が前記液晶皿の液晶に接触した状態で、前記導入室から前記注入室へ前記液晶セル及び液晶皿を装填するために、前記液晶セルを保持するカセットトレイと前記液晶皿を載置した液晶皿トレイの互いに、これらを連結するためのピンとピン穴からなる連結手段を設けると共に、前記移動手段により移動するカセットトレイと共に前記連結手段で連結された前記液晶皿トレイの移動を助長するために、前記接近機構における前記液晶皿トレイの載置面に滑り手段を設けたことを特徴とする液晶注入装置。
IPC (2件):
G02F 1/1341 ,  G02F 1/13 101
FI (2件):
G02F 1/1341 ,  G02F 1/13 101
Fターム (6件):
2H088FA17 ,  2H088FA24 ,  2H088FA30 ,  2H088MA20 ,  2H089NA25 ,  2H089QA12
引用特許:
出願人引用 (23件)
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