特許
J-GLOBAL ID：200903048725983458
貼り合わせ装置及び駆動方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡部 正夫 (外10名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-075115
公開番号（公開出願番号）：特開2003-295781
出願日： 2003年03月19日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：
【要約】【課題】 液晶表示素子の真空貼り合わせのための工程において、基板のローディングとアンローディング時に下部ステージと基板との間の静電気の発生を防止し、且つ基板の摩擦によるスクラッチを防止できると共に、基板をステージに搭載する時に正確な位置に搭載可能なように基板を整列する貼り合わせ装置、及びその駆動方法を提供する。【解決手段】 本発明の貼り合わせ装置は、貼り合わせ器チャンバー、前記貼り合わせ器チャンバーの内部の上側空間と下側空間とにそれぞれ設けられた上部ステージ、第1収容部を備えた下部ステージ、第1基板を受け止める第1受止部を備えた第1リフティング手段、前記下部ステージ内に前記第1受止部を収容する前記第1収容部、及び前記第1受止部を介して空気を噴射する前記第1受止部内に形成されたブローイング手段を有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
貼り合わせ器チャンバー、前記貼り合わせ器チャンバーの内部の上側空間と下側空間とにそれぞれ設けられた上部ステージ、第1収容部を備えた下部ステージ、第1基板を受け止める第1受止部を備えた第1リフティング手段、及び前記下部ステージ内に前記第1受止部を収容する前記第1収容部及び前記第1受止部を介して空気を噴射する前記第1受止部内に形成されたブローイング手段を有することを特徴とする貼り合わせ装置。
IPC (2件)：
G09F 9/00 338
, G02F 1/13 101
G09F 9/00 338
, G02F 1/13 101
2H088FA01
, 2H088FA09
, 2H088FA17
, 2H088FA27
, 2H088FA28
, 2H088FA30
, 2H088HA01
, 2H088HA08
, 2H088HA12
, 2H088MA20
, 5G435AA17
, 5G435BB12
, 5G435CC09
, 5G435EE37
, 5G435KK05
, 5G435KK10
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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