特許

J-GLOBAL ID：200903014313516250

酸化亜鉛系透明導電膜及びそのパターニング方法

発明者： 高橋 誠一郎 ,  田平 泰規 ,  高橋 広己
出願人/特許権者： 三井金属鉱業株式会社
代理人 (2件)： 栗原 浩之 ,  村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-095656
公開番号（公開出願番号）：特開2007-273185
出願日： 2006年03月30日
公開日（公表日）： 2007年10月18日
要約：

【課題】酸化亜鉛系透明導電膜のエッチングレートを調整してパターニング特性を向上させることができる酸化亜鉛系透明導電膜及びそのパターニング方法を提供する。【解決手段】 酸化亜鉛を主成分とし、シリコン(Si)及びゲルマニウム(Ge)の両元素又はチタン(Ti)及びジルコニウム(Zr)の両元素を含有するすることを特徴とする。酸化亜鉛系透明導電膜をエッチングによりパターニングするに際し、エッチング工程より前に酸化亜鉛系透明導電膜を水で処理することを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

酸化亜鉛を主成分とし、シリコン(Si)及びゲルマニウム(Ge)の両元素又はチタン(Ti)及びジルコニウム(Zr)の両元素を含有することを特徴とする酸化亜鉛系透明導電膜。

IPC (3件)：

H01B 5/14 ,  H01B 13/00 ,  C23C 14/08

FI (3件)：

H01B5/14 A ,  H01B13/00 503D ,  C23C14/08 C

Fターム (7件)：

4K029BA49 ,  4K029BC09 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  5G307FB01 ,  5G307FC03 ,  5G323CA01

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開昭62-154411号公報(特許請求の範囲)
  
• 酸化亜鉛系透明導電性膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-212849   出願人：住友金属鉱山株式会社
• 透明導電膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-306833   出願人：南内嗣, 宮田俊弘
• 透明導電膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-308449   出願人：南内嗣, 宮田俊弘